2025年9月10日，第26 届中国国际光电博览会（简称：CIOE 中国光博会）在深圳国际会展中心盛大启幕，同期联袂举办“SEMI-e 深圳国际半导体展暨2025 集成电路产业创新展”，双展总规模突破30 万平方米，吸引5000 家展商集中展示前沿产品与技术，预计超16 万专业观众到场开展商贸洽谈。“光电子+ 半导体”的深度融合模式，正释放跨界协同新势能，为产业创新提供更广阔的合作平台。
图：2025第26 届中国国际光电博览会



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展会盛况
慕藤光在此次展会中设置了三个展位：位于10号馆的A750/751、D100/101展位和14号馆的14A24展位，方便不同领域的专业观众参观交流。
图：慕藤光展位10号馆A750/D100、14号馆14A24

展会首日，慕藤光展台吸引了大量专业观众驻足交流。三大展台全方位呈现了慕藤光在成像光学领域的最新创新成果，展示了包括Φ66大靶面管镜、红外成像光学系统、第三代线激光对焦传感器、多孔直线物镜切换器、电动物镜切换器以及超分辨大视场物镜等一系列领先产品。这些产品不仅展示了慕藤光在光学设计与系统集成方面的技术实力，更体现出其在精密检测、智能成像等应用场景中的深度洞察与创新突破，引来众多行业专家和客户的高度关注与热烈讨论。



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新品首发——Φ66大靶面镜管
慕藤光大视场镜管是一款高性能8K大视野镜管，专为满足高精度成像需求的光学设备而设计。该镜管最大可兼容Φ66像圈，具备卓越的色差与球差校正能力，同时优化了场曲和畸变校正，确保在复杂应用场景下仍能提供优异的成像质量。作为一款高端镜管，其主要功能是实现精准的光学调节，适用于对成像视场和画质有严苛要求的专业领域。
产品特点：
  • 大像圈兼容设计，减少检测设备成本；
  • 提升产能，提升工业CT效率；
  • 亚微米级别，精度高；
  • 光学校正，复消色差；
  • 模块化设计，适配多种检测环境。
图：慕藤光Φ66大靶面镜管



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展品亮点——近红外成像光学系统
慕藤光红外成像光学系统采用长波段光源穿透复合材料内部1100-1700nm结构，实现深层结构可视化与无损缺陷检测。
产品特点：
  • 更容易穿透材料：采用长波段光源穿透复合材料内部1100-1700nm结构；
  • 深层结构可视化：在无损条件下可实现晶圆等样品内部深层结构Mark点定位或内部缺陷检测；
  • 可过滤无关细节：消除不必要的眩光和反射，忽略各种检测应用中不需要的成像细节

图：慕藤光近红外成像光学系统



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技术发布——慕藤光线激光对焦及跟焦原理
本届展会首次发布了慕藤光线激光对焦及跟焦技术原理：慕藤光第三代线激光传感器MLAF-7V先向被测样品主动发射激光线束；该线束接触样品表面后，会实时反射至系统配套的高精度传感器，完成光学信号的初步采集。随后，专用图像算法对传感器接收的激光信号进行实时处理——通过精准提取激光轮廓、分析形态特征，将光学信号转化为可运算的参数数据。  基于图像算法输出的分析结果，系统内置的运动控制算法（运控算法）随即生成适配的控制信号；该信号驱动电机带动运动轴，对Z轴方向的距离进行实时微调。整个过程形成“信号采集 - 算法分析 - 执行调整”的闭环，直至实现目标样品的清晰对焦。  在动态性能上，该技术的跟焦响应时间小于100毫秒（<100ms），即便面对被测目标高速运动的场景，仍能稳定保持高水准的对焦清晰度，有效突破了动态成像场景下的对焦精度与响应速度瓶颈。
慕藤光智能成像光学系统对焦及跟焦原理



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精彩继续，期待交流
光博盛宴，精彩持续至9月12日！慕藤光的前沿成果与精彩互动仍在火热进行中。诚邀您共赴现场，碰撞思维，共同开拓光学技术在半导体领域的无限可能！