公司介绍

设备前端分选及搬运自动化系统（Sorter/EFEM）

设计精致小巧，在减少占地面积和使用空间的同时，确保了内部高洁净度可达ISO Class 1，有效高生产效率与良率，并降低成本；适配3-12寸晶圆，多种取片方式和上料方式可定制，核心模组全自研，垂直整合高兼容，能够满足各种工况需求，连接多种不同类型的工艺设备。

标准机械界面（SMIF）

四十五年久经市场检验，过半市占率，特有无尘腔体，内循环可达Class1等级净洁度;模块化设计结合多样化客制选项，可适配在不做框架修改的情况下的不同设备；可选配AMHS通讯方式，满足多样化传输需求。

半导体真空搬运系统(VTM)

相关核心组件均由富创得自主设计研发，并在自有生产基地组装生产，实现更好的交期与性能;设备适配半导体前道工艺多数制程，所有量产设备均符合SEMI标准，适配各种晶圆/掩膜等半导体/泛半导体物料工艺设备的工况需求 ; 可提供标准方案供制程设备进行对接，也可根据客户要求进行设备的客制化，软硬件均有成熟方案可供选择，满足不同的制程设备与实际工况的需求。

晶圆/玻璃基板搬运核心模组

晶圆/玻璃基板搬运机械手（ROBOT）、晶圆/玻璃基板装载/封装装置LOADPORT、OCS、寻边器（Aligner）等核心组件全自主研发、整机由富创得无锡生产基地组装、生产，更可靠；采用RS232串口接口及Ethernet总线通讯，操作更便捷；具备Smart Move功能，搭配教导设计，更智能；多样化末端执行器规格选择和可定制化直线模组，满足多种工况需求。