公司介绍
展位号：5.2H-A130
上海凯世通半导体股份有限公司
上海凯世通半导体股份有限公司成立于2009年4月，是一家以离子注入技术为核心的集成电路高端装备企业，于2018年成为上海万业企业股份有限公司(SH.600641)旗下控股子公司。公司总部位于上海浦东，在北京、合肥、无锡、上海临港等地设有子公司。公司产品包括低能大束流离子注入机、高能离子注入机、中束流离子注入机、SiC/GaN/第三代半导体离子注入机、氢离子注入机等全系列产品，工艺覆盖逻辑、存储、功率、模拟、第三代半导体等多个应用领域。
展品介绍
一、低能大束流离子注入机系列：
iStellar-500
低能大束流离子注入机，采用“通用平台+关键技术模块”研发模式，坚持原创设计理念，凝结多年工程经验，束流传输效率高，能量范围 0.2~60/80KeV
iStellar-500C
低能大束流超低温离子注入机，基于iStellar-500束流系统，低故障率，高可靠性，实现-100℃超低温注入
iStellar-500S
低能大束流固态源离子注入机，基于iStellar-500束流系统，低故障率，高稳定性，可实现Sb、In、Al等固态源注入
iStellar-500HT
低能大束流高温离子注入机，基于iStellar-500束流系统，实现RT（室温)250°C高温注入，适用于先进制程
2、高能离子注入机系列：
iStellar-HE2000
高能离子注入机，单价能量500KeV，覆盖28nm/22nm等先进工艺节点，高可靠性、低成本，适用于IC集成电路中逻辑、存储、功率器件应用
iKing HE/UHE
超高能离子注入机，单价能量1.5MeV/2.5MeV，应用于逻辑与存储芯片、功率器件等，配置不同能量，满足客户不同需求，具备高效可靠、高精度注 入控制、高束流均匀性、低金属污染和低颗粒物污染等特点
第25届中国国际工业博览会集成电路展区
2025年9月23日-27日
