

第二十六届中国国际光电博览会(CIOE)将于2025年9月10-12日在深圳国际会展中心举办。作为全球光电全产业链旗舰展会,本届汇聚3800余家全球企业,聚焦信息通信、精密光学、摄像头技术及应用、激光制造、红外紫外、智能传感、新型显示及AR/VR等八大前沿领域。同期与SEMI-e深圳国际半导体展暨集成电路产业创新展联袂举办。
知常光电将亮相3号馆3C71展位,诚邀广大客户与代理商莅临,期待与您共探合作机遇!
展品推介
图形晶圆缺陷检测设备

图形晶圆缺陷检测设备(AMMI-2000),用于半导体制造的前道检测,对图形晶圆的宏观缺陷,如划痕、颗粒、脏污、腐蚀、图形结构缺陷等进行检测,对集成电路芯片的性能和可靠性保证有重要作用。
AMMI-2000集成明场、暗场等多种检测模式,对图形晶圆各类缺陷提供可靠的缺陷信息,结合缺陷自动检测与分类算法,提取包括缺陷类型、尺寸、坐标、统计数据等在内的各项缺陷数据,生成晶圆缺陷检测报告,供用户进行质量评估和判定。
1
应用场景
ADI(After Development Inspection,显影后检测)
AEI(After Etch Inspection,刻蚀后检测)
API(After Photoresist Strip Inspection,去胶后检测)
OQC(Outgoing Quality Control,出货质量控制)
2
产品特点
高检测精度
自主开发光学成像系统,结合亚像素级缺陷提取算法,实现对缺陷的高精度检测。
高自动化程度
采用全自动传片与检测方式,灵活的配方设置,实现检测过程一键式操作。
高检测效率
采用时间延迟积分技术和高功率照明,相比传统探测器能够更高效率的获取图像信息,得到高检测吞吐效率。
智能算法
传统算法与AI算法相结合,支持Die to Die、Die to Golden Die等多种检测模式,精确定位缺陷和提取缺陷,并给出缺陷的各项信息,包括缺陷类型、尺寸、坐标等。
不同倍率可切换选择

3
典型缺陷图例

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咨询热线:朱先生 19956519609
关于我们

合肥知常光电科技有限公司是国家高新技术企业,由海归人才与本土企业家联合创办。企业以光学及光电子技术为核心,致力于高端光机电一体化仪器、设备及装备的研发、生产和销售,企业主打产品为光学检测与量测设备,特别是缺陷检测设备。

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