

Booth:7A93
CIOE
真空技术事业部
光电互联 破卷出新
📍深圳
第26届中国国际光电博览会



- 展会介绍 -
Ferrotec真空技术事业部即将于9月10-12日,参加第26届中国国际光电博览会,位于深圳国际会展中心,展位编号:7号馆-7A93。
届时,Ferrotec真空技术事业部将携带磁性流体密封传动装置、铝腔体&不锈钢腔体、电子枪等多种真空产品,诚挚邀请各位新老客户们,光临我司展位现场!
Ferrotec Corporation(日本磁性技术股份有限公司)自1992年进入中国,相继在杭州和上海地区设立了多家子公司,总雇员数达10000余人。主要生产:磁流体密封传动装置、真空腔体、精密真空部件、电子枪、GASBOX、热电半导体制冷材料及组件、石英制品、陶瓷制品、单晶硅及晶圆等。产品通过ISO9002、 ISO9001、IS014001、EN46001和TS16949等体系认证并在半导体、太阳能、电子材料和精密机械等诸多高科技产业领域得到广泛应用。



PART 01
2025 CIOE
参展展品

01
电子枪
电子枪能为真空和薄膜工业领域提供全系列、高质量、领先技术水平的单坩埚和多坩埚电子枪产品。这些产品在Ferrotec的欧洲总部德国进行研发,在德国与中国进行生产,所有产品都符合欧盟安全标准。






02
磁性流体密封传动装置
磁流体真空传动装置是把旋转运动传入真空容器的一种部品解决方案,杜绝了气体泄漏和污染,适用于对密封要求很高的场合。

03
铝腔体&不锈钢腔体
精密非标铝制真空腔体加工的全球知名半导体装备企业供应商,拥有多台大型腔体加工设备及多条UHV洗净生产线;不锈钢焊接真空腔体为真空镀膜、太阳能装备、光纤制造、国家大科学工程项目等提供支持与服务。


04
GASBOX
GASBOX是半导体工艺中PVD、CVD、MOCVD、CMP、ETCH、ALD、DIFF 中的关键部分,负责气体的精密控制与安全输送。


05
加热带
用来调控气体管路的温度。当气体管路的温度达到一定范围时,制程所产生的生成物将不易沉积或堵塞于管路中,因而可以减少机台的保养次数,延长使用寿命。






PART 02
2025 CIOE
展台与位置


7号馆-7A93
期待您的莅临!




PART 03
2025 CIOE
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FerroTec集团(中国)官方网站:http://www.ferrotec.com.cn/
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